SRM640g 硅粉基质标准品成分分析

NIST SRM640g 硅粉基质标准品是美国国家标准与技术研究院（NIST）研发的高纯度硅粉基质标准参考物质（SRM），核心定位为硅材料（半导体、光伏级硅）中痕量杂质元素分析的量值传递标准，专为辉光放电质谱（GDMS）、电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）等痕量分析技术的仪器校准、方法验证及结果溯源设计。

该标准品以干燥粉末形式供应，每个包装单元含 10g 硅粉（分装为 2 个 5g 密封聚乙烯瓶），物理特性为：白色疏松粉末，标称粒径范围 1-5μm（D50=3μm），堆密度 1.2±0.1 g/cm³，属于非易燃、非腐蚀性危险品，需避免粉尘吸入。

SRM640g 硅粉基质标准品其基质为电子级多晶硅，标称纯度≥99.9999%（6N 级），在此基础上精准添加 18 种痕量杂质元素，涵盖半导体行业关键控制杂质：

掺杂元素：B（硼）、P（磷）、As（砷）、Sb（锑）（浓度范围 0.1-10 μg/kg）；

过渡金属元素：Fe（铁）、Cu（铜）、Ni（镍）、Cr（铬）、Mn（锰）（浓度范围 1-50 μg/kg）；

碱 / 碱土金属元素：Na（钠）、K（钾）、Ca（钙）、Mg（镁）（浓度范围 5-100 μg/kg），所有元素标称质量分数均处于 ppb 级（10⁻⁹），适配硅材料超低杂质检测需求。

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